휴대형 단차측정기

 


휴대형 단차측정기(Portable surface profiler)

휴대형 단차측정기는 부피가 작아 휴대 이동이 용이하며, 별도의 샘플 스테이지가 없어 샘플의 크기에 구애 받지 지 않는 상태에서 샘플의 단차를 측정할 수 있는 것이 특징입니다.
측정 applicaition은 일반적인 surface profiler 의 applicaiton과 같으며, 샘플의 크기에
구매 받지 않는 것이 특징입니다.

 

 기본사양
*Vertical length range 800 ㎛
*Scan length range :   32 mm
*Stylus force   :  0.75 mN
*Dimensions : 370mm(W) x 550mm(D) x 370mm(H), 약 2kg
 

 


 사양

측정력(Force)

0.75 mN

Vertical length range

800 μm

Scanning length

32 ㎜

Resolution

0.0064 μm

직진도(Straigtness)

0.3 μm / 32mm 이하

Dimensions

W160 x D235 x H85 ㎜, 2 kg



 측정

표준 샘플 재연성 테스트 결과입니다.  

 

 

사진 1. 10.1um 표준 단차 샘플


 

사진 2. 10.1um 표준 단차 샘플 측정 결과 예

 

표 1. 10.1um 표준 샘플 10회 측정 결과