Solutions for Spectrometers & Thickness Measurements

■ 엘립소미터(Ellipsometer SENresearch)
SENresearch 모델은 박막두께, 굴절률, 소광계수 외 재료구성등을 분석하는 다파장 엘립소미터로 수 Å-200 um (FTIR) 까지 측정이 가능한 엘립소미터입니다.
Compensator를 이용한 del값의 full range 측정이 가능하며, Goniometer를 이용하여 다양한 입사각도로 측정할 수 있습니다. 또한 ACT(Auto collimated telescope/ microscope)를 이용하여 보다 쉽고 정확하게 시료의 Alignment가 가능합니다.

기본사양

*Wavelength range: 190-3500 nm (DUV-VIS-NIR영역의 다양한 모델)
*Step Scan Analyzer
*ACT 샘플 Alignment
*다양한 입사 각도 (40°-90°)

사양 (SENresearch 제품규격)

측정 파장	각 모델 참조
Psi, del 측정 오차	δ(ψ)=0.02°, δ(Δ)=0.04°
측정 두께 오차	0.1 Å for 100 nm SiO2 on Si
측정 굴절률 오차	5x10^-4 for 100 nm SiO2 on Si
두께 측정 범위	~20 ㎛
Spectral resolution	UV/VIS: ~1.5 nm NIR: 1 cm^-1~32 cm^-1
측정 시간	UV/VIS (full spectra): 10 s NIR (full spectra): 60 s
Layer 개수	1-10 layer (박막 특성에 의존)
빔 크기 및 측정 각도	1-4 mm, 40°-90° (5° step)

측정 프로그램

엘립소미터 분석 프로그램인 SpectraRay 4는 사용자 관점에서 쉽게 접근할 수 있는 특화된 엘립소미터 분석 프로그램입니다.