전자현미경(SEM)

 

 

 


전자현미경(Mini SEM)

전자현미경은 고배율에서 심도가 깨지는 광학현미경의 한계를 넘어 수천배에서 수만배의 고배율에서도 높은 심도로 샘플을 분석할 수 있는 장비입니다. 전자현미경은 반도체, 의학, 화학, 스마트폰,건축, 에너지 등 모든 분야에서 활용되고 있는 기초 장비입니다.


 기본사양
*Resolution:​ 5nm [at 30 kV, SE Image]
*Stage: X: 35 mm(Motorized), Y: 35 mm(Motorized), 
          T: 0 to 45˚(Motorized), R: 360˚, Z: 0 to 50 mm
*Sample size: 45 mm (H), 60 mm (Diameter)
*Dimensions: 400 x 600 x 550 mm, 95 kg​


 사양 

Magnification

20X~100,000X (Effective: ~50,000X)

Accelerating Voltage

1 kV to 30 kV

Electron Gun

Tungsten Filament(w)

Detector

SE Detector (Optional : BSE, EDS)

EM-30 Stage

x: 35 mm (Motorized), Y: 35 mm (Motorized)

T: 0 to 45˚ (Motorized), R: 360˚ Z: 0 to 50 mm

Maxium Sample Size

45 mm (H), 60 mm (Diameter)

Image Mode(pixel)

· RDE (320x240), TV (640x480), Slow (800x600)
· Photo (1,280x960, 2,560x1,920, 5,120x3,840)

Frame Rate

· RDE (MAX. 30 frames/sec)
· TV (MAX. 10 frames/sec)
· Slow (MAX. 2 frames/sec)

Vacuum System

Turbo Molecular Pump (Less than 3 min)

Auto Functions

Focus, Filament, Contrast, Brightness

OS

Windows7

Operation

Keyboard/Mouse

Demensions

400 (W) x 600(L) x 550 (H)mm, 95 kg

  


 측정  

전자현미경은 반도체,디스플레이,의학,자동차,금속산업, 건축 등 모든 분야에서 기초 장비로 활용되고 있는 장비입니다. 아래 예제는 5천배,1만배, 30만배 측정 예제 입니다.